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作者：O. Homburg、D. Hauschild、F. Kubacki、V. Lissotschenko, LIMO公司 关键词：光束整形，微透镜阵列，均一性，效率，激光 1. 引言 无论是工业应用还是科学研究，高功率或低功率，从深紫外到近红外光谱区域，激光都是一种低成本高效益的可靠工具。现有的大部分产品均使用由其谐振腔定义了光学特性的激光光束。单 ...