二氧化铈抛光材料应用的研究进展 下载全文 作　　者：吕逢娇 机构地区：安徽大学物理与材料科学学院 出　　处：《新材料产业》 2014年第2期 56-59页,共4页 Advanced Materials Industry 摘　　要：光电子与信息产业的迅猛发展加速了化学机械抛光技术（CMP）的更新。CMP作为目前最好的实现全局平面化的工艺技术（整体平面化 ...

CeO2／SiO2复合磨粒抛光性能及机制研究 Research on Polishing Performances and Mechanisms of CeO2/SiO2 Composite Abrasives 下载全文 作　　者：张强 黄国栋 赵永武 赵元元 王永光 Zhang Qiang Huang Guodong Zhao Yongwu Zhao Yuanyuan Wang Yongguang（College of Mechanical Engineering, Jiangnan University,Wux ...

纯铈稀土抛光粉中氟行为的研究 Study on Behaviors of Fluorine in Pure Cerium Rare Earth Polishing Powder 下载全文 作　　者：柳召刚 张盼 李梅 胡艳宏 王觅堂 陶豹 LIU Zhao-gang, ZHANG Pan, LI Mei, HU Yan-hong, WANG Mi-tang, TAO Bao （ School of Materials and Metallurgy, Inner Mongolia University of Scie ...

类球形氧化铈的制备及抛光性能 Preparation of Roundish CeO2 and Its Polishing Performances 下载全文 作　　者：周新木 阮桑桑 彭欢 李静 李永绣 Zhou Xinmu, Ruan Sangsang, Peng Huan, Li Jing, Li Yongxiu （Department of Chemistry, Nanchang University, Nanchang 330031, China） 机构地区：南昌大学化学系,江西 ...

铈基稀土抛光粉的悬浮性能评价方法与不同分散剂的影响 Evaluation Methods for Suspension Property of Rare Earth Polishing Powder and Effects of Defferent Dispersing Agents on It 下载全文 作　　者：黄绍东[1] 陈维[2] 梁丽霞[1] 贾嘉[3] 赵月昌[3] 高玮[3] HUANG Shao-dong , CHEN Wei ,LIANG Li-xia ,JIA Jia ,Z ...

络合剂对蓝宝石晶片化学机械抛光的影响 Effect of Chelating Agent on Chemical Mechanical Polishing Quality of Sapphire 下载全文 作　　者：熊伟 白林山 储向峰 董永平 陈均 毕磊 叶明富 Xiong Wei, Bai Linshan, Chu Xiangfeng, Dong Yongping, Chen Jun, Bi Lei, Ye Mingfu （School of Chemistry and Chemical En ...

草酸沉淀法制备稀土抛光粉及其抛光性能 Preparation of Polishing Powders by Oxalate Deposition and Its Polishing Performance 下载全文 作　　者：周筱桐[1] 肖汉宁[1] 刘井雄[1] 张海峰[2] 付银元[1] ZHOU Xiao-tong, XIAO Han-ning, LIU Jing-xiong , ZHANG Hai-feng, FU Ying-yuan （1. College of Materials and ...

不同磨料对微晶玻璃化学机械抛光的影响 Effect of Different Abrasives on Chemical Mechanical Polishing of Glass-Ceramics 下载全文 作　　者：王金普 白林山 储向峰 Wang Jinpu, Bai Linshan, Chu Xiangfeng （ School of Chemistry and Chemical Engineering, Anhui University of Technology, Maanshan 243002, Chin ...

硬盘微晶玻璃基板化学机械抛光研究 Investigation on Chemical Mechanical Polish of Glass Ceramics Substrate of Hard Disk 下载全文 作　　者：王金普 白林山 储向峰 WANG Jin-pu, BAI Lin-shan, CHU Xiang-feng （School of Chemistry and Chemical Engineering, Anhui University of Technology, Maanshan 243002, Ch ...

硒化锌的化学机械抛光研究 Study on the Chemical Mechanical Polishing of ZnSe 下载全文 作　　者：吴传超[1] 安永泉[1] 王志斌[1,2] 杨常青[1] 张瑞[1] WU Chuan-chao , AN Yong-quan , WANG Zhi-bin, YANG Chang-qing , ZHANG Rui （ 1. Engineering Technology Research Center of Shanxi Province for Opto-Electron ...