集成光子器件集成了固体物理、材料学、波导光学和微细加工等学科的前沿成果，采用半导体工艺制作平面光波导芯片，将传统分立光学元件的功能集成到同一光学衬底，实现光信号的分束/合束、转换、光滤波等功能，具有结