关于何为直接光控和间接光控

如题   求解答   谢了  

学习，没用过光控

直接监控是直接测试被镀件表面的光信号变化（leybold设备采用），而间接监控是监控同炉次的一个监控片表面镀膜过程的光信号变化（目前大部分机器采用）

谢谢解释。我现在用的就是间接监控。按我测量的结果，监控片上的参数，不能直接作为设计依据。那么，tooling值我能直接用样片和设计值进行计算吗？
设计值与监控片的膜有差异，而监控片的膜与样片的又有差异。应该如何计算呢？

Jimmy_tang 发表于 2011-12-19 11:03
谢谢解释。我现在用的就是间接监控。按我测量的结果，监控片上的参数，不能直接作为设计依据。那么，toolin ...

恩，我也有这样的疑问。不知你现在解决没有，我还是搞不明白

缘睐汝痴 发表于 2011-12-19 21:25
恩，我也有这样的疑问。不知你现在解决没有，我还是搞不明白

自然是没有的。我现在是在磕磕绊绊地摸石头过河啊。

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:17
自然是没有的。我现在是在磕磕绊绊地摸石头过河啊。

大家多交流啊  朋友的机器是 那里的  啊  

我也来学习学习

国产机子啦，公司在昆山。