英特尔将投资60～80亿美元发展22nm以后工艺，同时新建开发量产线

美国英特尔宣布，将实施60～80亿美元的设备投资，用于22nm以后的工艺技术开发及量产。现有的两条开发/量产线和两条量产线都将升级到22nm工艺，还将建设新的开发/量产线。

现有量产线的升级方面，俄勒冈州希尔斯伯勒的开发/量产线“D1C”和“D1D”都将升级到22nm工艺。另外，亚利桑那州钱德勒的量产线“Fab 12”和“Fab 32”也将升级到22nm工艺。通过这些措施，计划2011年内开始量产22nm工艺微处理器。另外，作为未来工艺的研究及开发中心，英特尔将在俄勒冈州希尔斯伯勒新设22nm以后工艺的开发/量产线“D1X”。预定2013年投产。（记者：长广 恭明）

牛逼，厉害。
台积电是不是会受影响啊，呵呵。

这次应该是用的193浸没吧,到底193会坚守到多久,或者根本就不会被EUV取代~