膜层花斑问题求助

xiaolan125 · *发表于* 2011-8-11 13:49:29

本帖最后由 xiaolan125 于 2011-8-12 09:57 编辑

最近镀SF2棱镜斜面PBS膜时发现表面出现点状的斑点，用的是TA2O5和SIO2 电子枪蒸发，加大恒温时间（90min）和刻蚀时间均无明显改善，而且尺寸越大的花斑越多，小尺寸的较少出现，一直无法解决，有哪位大侠可以指点下

xiazg · *发表于* 2011-8-11 15:09:14

晶振片膜料销售电话 15068338773 夏志国 QQ1046118891

jiayuch · *发表于* 2011-8-15 08:12:08

用新鲜基片镀制看看，就是刚抛光完的那种

Jimmy_tang · *发表于* 2011-8-17 10:10:20

LZ用的是什么坩埚啊？

xiaolan125 · *发表于* 2011-8-17 15:40:27

Jimmy_tang 发表于 2011-8-17 10:10
LZ用的是什么坩埚啊？

无氧铜坩埚

Jimmy_tang · *发表于* 2011-8-17 16:10:08

是因为洁净度不足么？不太懂。我记得曾在某篇文献中有看到的，但当时在找别的内容，所以略过了，刚才找了半天没找到。

xiao2011 · *发表于* 2011-8-17 16:22:29

*发表于* 2011-8-18 12:11:52

xiaozhou · *发表于* 2011-8-22 18:58:48

基底有亚克，镀膜前可先擦拭亚克粉试试

xiaolan125 · *发表于* 2011-8-24 08:43:43

xiaozhou 发表于 2011-8-22 18:58
基底有亚克，镀膜前可先擦拭亚克粉试试

亚克？是什么

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