镀金（Au）膜牢固度

xiaolan125 · *发表于* 2011-5-13 14:43:00

镀金内反射膜，大片30*30的用3M胶带拉不会掉，然后经过划片机划片完（3*3的小片）用胶带一拉就掉，有没有哪位高手指点下镀金膜牢固度该如何改善啊~ 你们有没有做过能经得起后道加工的金膜...

liluplanet · *发表于* 2011-5-13 14:48:28

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xiaolan125 · *发表于* 2011-5-13 15:18:52

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是镀在K9平板上

qjy · *发表于* 2011-5-13 16:16:41

能大概说一下你们的工艺吗？保护了没有？切割是在镀完多久进行的？

xiaolan125 · *发表于* 2011-5-13 18:32:03

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AL2O3+Au+SIO2 离子源辅助镀温度在100℃左右真空3.0x10 -3pa 大片粘时没脱膜
30小时后用DISCO划片机划片用3M胶带粘拉很容易就脱了

qjy · *发表于* 2011-5-13 21:45:06

具体问题不清楚，不过据我了解，新鲜的金膜就是不牢，其硬度和牢固度随时间推移而改善，到一星期后趋于稳定。不知我说的能不能解决您的问题

sery1234 · *发表于* 2011-5-14 08:54:56

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最好能在说清楚点，比如你仔细观察下，是这三层膜的拿一层脱，看最底层的AL2O3掉了没有，还有你镀金的阻蒸电流多大，镀金最好是大点。另外你的切割液是油还是水等，这些可能都有影响的。

xiaolan125 · *发表于* 2011-5-14 10:53:31

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谢谢可能是镀后膜层老化时间不足下次有镀金膜的时候试试

xiaolan125 · *发表于* 2011-5-14 10:57:39

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打底层AL2O3没脱，是保护层和金脱，阻蒸电流是170，划片是用水冷的

APS1104 · *发表于* 2011-5-14 20:09:07

你试试Cr+Au+TiO2看看怎么样。其实Cr打底层最好，因为Au与其牢固性最好。

xiaolan125 · *发表于* 2011-5-15 11:00:09

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尝试下，不过Cr吸收比较大么，做内反可以用么对反射率影响大不大？

qjy · *发表于* 2011-5-15 19:22:10

APS1104发烧了，说胡话的吧！做内反膜能用Cr打底？你还是让楼主省点金子吧！

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