油扩散泵返气

在同一个真空腔室中，有两个油扩散泵，其中一个油扩散泵的提升阀（有的也称为高抽阀）打开的时候，真空腔的压力急剧上升，而且真空抽不上去，而关闭后真空马上上去了（即压力下降），请问是不是这个油扩散泵的油里面已经混入了杂质（之前腔体有漏水过）？哪位大侠有遇到过这种情况？能不能在不换油的情况下多加热这个扩散泵把杂质通过前级泵抽出去？或者还有更好的办法？

该维护就得维护  不换油是不行的

回复 1# fawang

腔体有漏水？？？冷井裂了吧？仔细查查，洗泵换油吧。

该换油维护就得维护，不能为了节约一点油把泵给搞坏了，不值得。

哈哈，没那么简单哟，油可换，泵不能洗哟，一洗就是几十台泵一起洗咯

楼主不是说只有两个泵，为什么又说是几十台呢？以我看，泵油已经坏了，必须要清泵才可以了。再麻烦也得要修啊！

1先检漏
2可以从温度探头稍微放点油出来，看油是否变质
3冷阱漏气
4高阀漏

学习，学习！！！！！！！！！

多谢高手的讨论 学习了很多 谢谢！

                              7楼仁兄正解 ！~

有可能是高阀漏气，气缸杆子那！