[讨论]脱膜与裂膜

镀膜中出现脱膜或裂膜是非常严重的事,造成的愿因也多种多样,大家可否在这个问题上谈谈,提出点改进的建议.

脱膜、裂膜是两种不同的现象。脱膜是由于膜层不牢或膜料与基片附着性不好引起了。而裂膜是由于在蒸发过程中速率太大或离子源太强从而使得的膜层内应力过大导致膜层裂膜。

lbo比较同意出现上述两中情况，比较令人头痛

也许还会有许多其他的原因，综合起来就出现问题了！

我认为最重要的是返油。

脱膜最大的可能是真空室内存在油脂。裂膜称为膜的龟裂，其原因主要是膜层应力的影响。

我不同意hgw2001对裂膜原因的看法，其说离子源太强而使膜层内应力过大，我认为增加离子源的强度会减小膜层的内应力。不知道大家认为哪个观点对？

我认为离子源能量大小应该有个度，否则不裂膜也会有麻点。我曾经碰到过离子源能量太大把铝箔打了许多麻孔。

我占同IC5的观点

除了用超声波清晰还有什么方法清晰，超声波清洗时用去离子水还是用酒精？？？

我觉得脱膜的原因很多。不能单是清洗的问题。它还跟你的蒸发速率、有没有加温、
有没有离子源、真空度的高低、以及你的真空室的大小等等有关。还有就是材料的附着性。几种材料是不是彼此间有很好的吸附性。

对于离子源的应用我觉得要适当的控制它的偏压。不然会有很多的麻点。当然麻点不单是离子源的问题。也可能是由于你的膜料溅射引起的。