关于真空镀铝二氧化硅保护膜的牢固度的问题

北仪的镀膜机DM--450A型镀膜机 改造加了一个电子枪 光控    镀铝是真空度2*10的负3Pa   度二氧化硅是也是这个真空度  但是很难达到加强铝的要求  用力擦拭容易出现掉膜的现象  求各位高手不吝赐教 我究竟哪里出问题了   没有离子源




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Al是用什么镀的啊

诸葛流星 发表于 2013-12-31 14:44
Al是用什么镀的啊

你好  铝是用铰钨丝蒸发的   求高见

ftz1981 发表于 2014-1-6 05:58
你好  铝是用铰钨丝蒸发的   求高见

用坩埚能镀吗，阻蒸只能镀一次啊

是否加温？ 是否打底，AL的结合力不好，用sio打底试试
当然也可以用坩埚 纯石墨坩埚 氮化硼坩埚 不过坩埚容易裂 记得多买几个
你所说的掉膜和sio2没有关系 是你的AL的结合力的问题 AL和sio2的结合力挺好的

如果你用于紫外，则加镀SIO是不行的，因为有吸收！国内出版的一本麦克劳德的书中讲到好象要用MgF2做保护层，这个好象不好！北仪的镀膜机DM--450A型镀膜机 这种机器是不是老设备，返油太大，这个要处理好，加个冷 水机可能会好点，金属膜对油特别敏感，希望对你有用

诸葛流星 发表于 2014-1-7 08:03
用坩埚能镀吗，阻蒸只能镀一次啊

镀铝时用铰钨丝阻蒸    镀二氧化硅用电子枪 谢谢

wdydede 发表于 2014-1-11 18:54
如果你用于紫外，则加镀SIO是不行的，因为有吸收！国内出版的一本麦克劳德的书中讲到好象要用MgF2做保护层， ...

谢谢您的赐教 受教非浅    我是用在红外反射    镀二氧化硅保护   求赐教     也准备有用于紫外的反射    望详细赐教

xiaohuilee 发表于 2014-1-8 07:22
是否加温？ 是否打底，AL的结合力不好，用sio打底试试
当然也可以用坩埚 纯石墨坩埚 氮化硼坩埚 不过坩埚容 ...

没有加温  没有打底  就只在磁钢上镀铝 然后镀二氧化硅    谢谢   求赐教

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:45
没有加温  没有打底  就只在磁钢上镀铝 然后镀二氧化硅    谢谢   求赐教

既然这样那就用sio打底 如果还是不行就用cr打底
还要镀保护膜 一般20nm左右就够了
别老是等待别人的回复了 多做做实验 还有就是你的基底是否干净 等各个方面的原因
AL和玻璃的结合力还可以 我以前做过再金属上镀AL 就sio打底就没有问题

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:45
没有加温  没有打底  就只在磁钢上镀铝 然后镀二氧化硅    谢谢   求赐教

你镀在磁钢上，是什么材料 ？我们是镀在玻璃上的. 铝膜与接合力还真不知道

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:44
谢谢您的赐教 受教非浅    我是用在红外反射    镀二氧化硅保护   求赐教     也准备有用于紫外的反射    ...

红外反射可以镀金，但金属膜的牢固度？？