超纳米晶金刚石（UNCD）用于微机电系统（MEMS）前景

有没有做高端MEMS研究的呢？

超纳米晶金刚石（UNCD）相比Si, SiC等其他材料具有很多优势（超润滑、高硬度、超高导热能力、长寿命等）。目前，可以用在生物传感器, BioMEMS, RF MEMS, 三维微结构/探针（AFM probe），电化学传感器/电极, 纳米压印技术，疏水或亲水表面，金刚石膜层等。

我们用过UNCD，也用设备合成这种钻石，效果真的不错。有从事这方面研究的，欢迎讨论哈！

qq：2306438512

没谁研究MEMS？