求助：外反银＋AL2O3+SIO2保护膜问题

问题：镀外反银的保护膜（AL2O3+SIO2)镀完后从真空室取出后，保护膜成粉状脱掉，但银层是没有问题的，请教大家是什么原因造成的。镀膜条件：先常温镀银，在加温镀AL2O3＋SIO2。

蒸发源离工件的距离多少，是否过低
用什么舟镀膜

南光真空机台，预阀一打开。真空度就不行是怎么回事。所有焊接点，接头，都用丙酮查过，没发现有漏气。求高手相救，不胜感激。

xiaohuilee 发表于 2013-11-7 12:22
蒸发源离工件的距离多少，是否过低
用什么舟镀膜

银膜的牢固度没得问题，主要是外层的保护膜脱落，保护膜是用电子枪镀的。蒸发源离工件的距离在40cm左右

银冷镀 保护层也用冷镀

保护膜冷镀好像不耐擦吧，我们没有离子源。

烘烤温度是多少？如果真空度不够高，你加热温度太高银是容易氧化的，保护层也就容易脱落。

终南子 发表于 2013-11-13 21:04
烘烤温度是多少？如果真空度不够高，你加热温度太高银是容易氧化的，保护层也就容易脱落。

镀保护膜的烘烤温度是150度（基片温度有145左右），开始镀膜时真空度为3.0×－3pa.

没有离子源好难镀的啊！！要不就是加高温，要不就是真空度要高

考虑下热膨胀的问题，银和氧化物的差距很大，温差大容易产生很大的应力，导致膜层不牢固

乐wlzb 发表于 2013-11-18 09:55
镀保护膜的烘烤温度是150度（基片温度有145左右），开始镀膜时真空度为3.0×－3pa.

烘烤温度是有点高，你把温度降到80度左右，把真空度再抽高点看看。

终南子 发表于 2013-12-7 19:01
烘烤温度是有点高，你把温度降到80度左右，把真空度再抽高点看看。

好的，谢谢！我有时间再试试看。