修正板与360膜厚仪里的工具因子

zouyou828459 · *发表于* 2012-3-27 21:15:48

修正板与360膜厚仪里的Tooling factor具体功能在此各位大侠们帮我分析下

yezhi381009880 · *发表于* 2012-3-30 11:02:13

一个是同炉的均匀性，tooling是你整个膜厚的镀制偏差。就是理论和实际的一个系数关系

copland · *发表于* 2013-3-19 11:43:55

yezhi381009880 发表于 2012-3-30 11:02
一个是同炉的均匀性，tooling是你整个膜厚的镀制偏差。就是理论和实际的一个系数关系

就是这样的

sgh920 · *发表于* 2019-4-29 15:50:39

[讨论] 修正板与360膜厚仪里的工具因子