[技术] 修正板的问题

 火...
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发表于 2012-7-16 17:36:01|上海 | 查看全部 阅读模式
公司刚买了一台成都的800箱式镀膜机,一个电子枪和2个阻舟。但是没人会做修正板。。。请问大虾们。有没有什么简单的方法?那篇《修正挡板设计》真心看不懂啊。
qjy
这东西能够真正做好的人可是很不多见吆!如果你们想轻松搞定,最简单的方法就是请我帮忙了,呵呵!当然,如果你们自己有精力也可以自己慢慢试 
发表于 2012-7-18 13:52

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ouyuu Lv.2 发表于 2012-10-27 21:07:32|上海 | 查看全部
tfc 发表于 2012-10-27 11:28
如果专门去研究修正板的公式,也不是不可能出公式的,但这时膜料及其蒸发速率要选择好,修正板离坩埚一定距 ...

是的,实际上是有公式,但复杂的很。
分布符合流体力学,但离子不同,分子量和电荷,初速度均不同,
需要每种离子都进行一种建模。
另外影响的因素有,腔体的形状,抽气口形状,抽气能力,
料板(也有称伞架的)高度,形状,修正板高度,角度等等。

仅仅把这些都测量一遍的时间,我十套修正板都做好了。

真正有水平的人,不会靠贬损别人来提高自己。
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诸葛流星 Lv.8 发表于 2012-7-18 10:23:40|广东 | 查看全部

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简单的说离蒸发源远的地方修正版窄,近的地方修正版宽。
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苏州膜头 Lv.9 发表于 2012-7-16 21:02:26|江苏 | 查看全部

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哈哈,一个电子枪不够用啊,夹具好的话修正板就不一定要用的。
你哪里的要不我来看看??
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wazxq Lv.10 发表于 2012-7-18 04:53:24|广东|来自手机 | 查看全部

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要求均匀性多高,新机厂家没给你做好吗
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lkai1014 Lv.8 发表于 2012-7-19 08:10:48|广东 | 查看全部

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根据测试分光一点一点的增或减修正板的幅度,直到你们所需要的差就可以了   
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especialoptic Lv.5 发表于 2012-7-19 14:12:31|湖北 | 查看全部

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同意5楼的说法,多试膜几次,调整修正板尺寸,慢慢调整到各层最均匀的效果。
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qjy Lv.10 发表于 2012-7-19 16:30:13|陕西 | 查看全部

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especialoptic 发表于 2012-7-19 14:12
同意5楼的说法,多试膜几次,调整修正板尺寸,慢慢调整到各层最均匀的效果。

大地呀!苍天呀!原来咱们的高手们都是这么干的呀!我想把原始人请来,他们也会这么干的!我真的无语了,难道这就是我们的高手拿手绝技吗?太不可思议了
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Jerry120688 Lv.7 发表于 2012-7-23 18:25:55|上海 | 查看全部

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做几个单腔~tooling差不多就行了
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huyuzhe 楼主Lv.6 发表于 2012-7-25 06:44:10|上海 | 查看全部
qjy 发表于 2012-7-19 16:30
大地呀!苍天呀!原来咱们的高手们都是这么干的呀!我想把原始人请来,他们也会这么干的!我真的无语了, ...

那么你是怎么做的呢?
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huyuzhe 楼主Lv.6 发表于 2012-7-25 06:45:06|上海 | 查看全部
苏州膜头 发表于 2012-7-16 21:02
哈哈,一个电子枪不够用啊,夹具好的话修正板就不一定要用的。
你哪里的要不我来看看??

我上海的。修正板已经整的差不多了。谢谢
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huyuzhe 楼主Lv.6 发表于 2012-7-25 06:45:57|上海 | 查看全部
wazxq 发表于 2012-7-18 04:53
要求均匀性多高,新机厂家没给你做好吗

我只是一个公转盘,所以需要修正板的。而且镀膜机厂家说他们不管修正板
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huyuzhe 楼主Lv.6 发表于 2012-7-25 06:46:20|上海 | 查看全部
诸葛流星 发表于 2012-7-18 10:23
简单的说离蒸发源远的地方修正版窄,近的地方修正版宽。

嗯,这样是最方便的。谢谢
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