求助!

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发表于 2008-5-20 22:10:42|江苏 | 查看全部 阅读模式
请各位为高手看看这样的膜系结构工艺上能实现吗?
层数        材料        膜厚/nm
1        Si        21.76
2        SiO2        101.89
3        Si        43.53
4        SiO2        101.89
5        Si        43.53
6        SiO2        101.89
7        Si        43.53
8        SiO2        101.89
9        Si        43.53
10        SiO2        101.89
11        Si        21.76
12        SiO2        200.92
13        TiO2        250.65
14        SiO2        401.85
15        TiO2        250.65
16        SiO2        401.85
17        TiO2        250.65
18        SiO2        401.85
19        TiO2        250.65
20        SiO2        401.85
21        TiO2        250.65
22        SiO2        200.92

回复|共 4 个

zhaohao_1 楼主Lv.2 发表于 2008-5-21 07:21:15|江苏 | 查看全部
大侠们帮帮忙阿!谢谢!!!!!!!!!!!!!!!!
zzzz Lv.10 发表于 2008-5-21 10:23:46|福建 | 查看全部
比较难
/////////////////////////
liyazhou Lv.4 发表于 2008-5-27 10:46:06|广东 | 查看全部
可以.................................................
zzzz Lv.10 发表于 2008-5-27 13:02:29|福建 | 查看全部
楼上如何准确控制SI的折射率呢?

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