[求助]如何去除不锈钢上的二氧化硅薄膜?

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发表于 2005-4-13 03:19:00|内网 | 查看全部 阅读模式

用PECVD法在不锈钢上镀上了1um的二氧化硅,现想将二氧化硅洗掉,重新利用那块不锈钢片,用什么方法好呢。

谢谢。

回复|共 4 个

hacker Lv.10 发表于 2005-4-18 00:42:00|广东 | 查看全部
可试试喷砂之方法,喷完砂后最好用酒精或丙酮擦拭干净。如果条件允许的话再用超声波清洗一下,烘干后就可使用。
tlean Lv.4 发表于 2005-4-18 02:00:00|浙江 | 查看全部
还是用氢氧化钠好,绝对不破坏基材
snebur Lv.9 发表于 2005-4-18 04:29:00|上海 | 查看全部
氢氟酸0.5% mol,注意HF对于眼睛鼻子有刺激,当心使用!
sauke Lv.9 发表于 2005-4-13 19:50:00|四川 | 查看全部
氟化氢氨溶液来泡。注意低温通风哈。

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