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[求助]PECVD生长薄膜时如何利用RF控制膜应力？

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发表于 2005-5-20 05:26:00|内网 | 查看全部 阅读模式
调节沉积时的RF频率可以缓解膜应力，原理是什么？
不懂，请教各位大侠。谢谢。
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回复|共 2 个

zz Lv.10 发表于 2005-5-20 15:51:00|广东 | 查看全部
.................总之有句话说的好：过尤不及。
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zz Lv.10 发表于 2005-5-20 16:00:00|广东 | 查看全部
.................总之有句话说的好：过尤不及。
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