精磨平面度的问题

     我有一个困扰已久的问题：
             在光学冷加工中，对平面度的要求很严格，但在加工过程中对平面度的操控上往往不尽人意，表现为平面度时大时小，我个人的见解是：原材料的面形不一致；压力设置不合适；转速设置不合理；浆料浓度不合适，研磨盘的面形过大或不均匀，但具体是哪一项对平面度的影响最大？上述因素又该怎样搭配才够合理呢？
              望论坛高手不吝指教！！！！！！！！！！
              先谢为敬！

我觉得是盘影响最大

   我也有这方面的考虑,所以我对盘进行修正,修正后的直径为1100mm的盘面的平面度约为0.02~0.03mm,应该说很小了,但是加工后工件(直径160mm)的平面度仍很不均匀,在20~40um之间,为什么?请高人继续指点!!!!

帮不上忙！！！！！！！！！！！！！

机器的摆副