[求助] 光圈测量

    我正加工一批直径为120毫米、厚度仅为0.595毫米的圆形零件，但在检测光圈时出了问题：由于我用的是立式干涉仪，零件放在不同的载物台上，由于零件变形，检测到的光圈的数目及形状都不同，怎样解决？怎样判断哪种形状的光圈是零件面形的真实表达？？？
        请各位指教！！！！！
        谢谢！！

大家遇到过同样的困难吗?

请加入讨论

我司最薄的产品0.3mm，110*90，这种问题不严重，不知你的产品用在何处，有何要求？

我遇过这样的问题，也不知道怎么解决。

试试用卧式的干涉仪啊!这样零件立放，变形就会小很多了啊!

径厚比这么大的元件，卧式怎么夹持？

关键是看你的零件是在什么状态下用的，或是你的客户在什么状态下测的，同他们一样就行了。

顺便问一句，这么波的零件是干什么用的？

   对呀,卧式干涉仪是可以解决此类超薄件的测量问题,但是我只有立式的干涉仪。我所做的产品是CD母盘

利用杠杆原理设计九点支撑，也就是在三点支撑的基础上，每个点上加一块三角板子，三个角上各凸起一个支撑点，形成9点支撑。具体位置需要根据有限元计算结果确定。

CD母盘，已经发展到用可见光测量了呀！我那时候精度低，只能用红外激光干涉仪测。

[B]以下是引用[I]河边草[/I]在2006-3-13 22:41:00的发言：[/B][BR]

利用杠杆原理设计九点支撑，也就是在三点支撑的基础上，每个点上加一块三角板子，三个角上各凸起一个支撑点，形成9点支撑。具体位置需要根据有限元计算结果确定。

CD母盘，已经发展到用可见光测量了呀！我那时候精度低，只能用红外激光干涉仪测。

好象是个好办法,但怎样制作?能否再具体点? 谢谢!!

你与我的朋友讨论一下试试

他的邮址 lcm3a@163.com ( cm3a@163.com" target="_blank" >Lcm3a@163.com )

在检测薄片时还要注意温度，由于一般干涉仪的载物平台都是金属的，所以温差很大，元件放上去变形很大，一定要等温度恒定以后再检测；卧式干涉仪也存在装夹的问题，力量大了要变形，轻了又怕夹不稳还有就是检测速度肯定上不去，要是采用悬挂元件底部有可能受重力影响变形。要是元件精度不是很高（5分之波长以下），平行度不是很好的情况下可以用平镜垫在元件下面用立式干涉仪进行检测！