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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 再次请教

再次请教

2.8k 2
发表于 2006-4-12 04:39:00|上海 | 查看全部 阅读模式
请问，我们在镀膜过程中，一直用的一个程序，突然镀同一材料的各个膜层都很有规律的缺少膜厚，每一罩活都是。等机器停了或清扫之后，做原程序又回复正常了。而且这种现象出现了几次。请问这又是什么原因？
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violet 楼主Lv.8 发表于 2006-4-15 06:29:00|上海 | 查看全部

怎么没人理我？

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zzzz Lv.10 发表于 2006-4-17 18:59:00|福建 | 查看全部

光控还是晶控?

清洗周期?真空变化?

影响TOOLING了

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