膜料问题请教

一。。假设我原来用密度2g/cc   现在用原来的所有参数蒸密度为2.3g/cc的会怎么样？  

      膜料里面的那个密度具体有什么作用？

二。。直接升华的膜料 比如SIO2 。。起始时蒸发很稳定。可有时速率会突然增大一下。然后又会平稳。这是什么原因造成的？

   

PID需要修正

对头对头

SiO2速度不稳可能是由于表面不平的原因，我也遇到过，跟束斑和膜料关系较大，当然还有转速，只要波动不太大，不影响膜层性能就行。前面那个就关系到你tooling值之类的设定。

SiO2速度不稳可能是由于表面不平的原因，我也遇到过，跟束斑和膜料关系较大，当然还有转速，只要波动不太大，不影响膜层性能就行。前面那个就关系到你tooling值之类的设定。