坛子里有谁在做新科龙的RAS机的？

hydralisk-1 · *发表于* 2006-7-12 10:04:00

小弟目前负责RAS技术开发一块。已有近半年经验。想结识几位也做RAS的朋友一起探讨问题（当然不牵涉到公司机密了^^）。问题可以是和RAS相关的任何方面。请有实际经验的高手不吝赐教！最好在贴下能提些和RAS有关的问题，大家一起探讨一下。小弟也定当尽力。

mzxnhgs · *发表于* 2006-7-14 07:17:00

RAS 看你要做什么样的产品

其实我觉得它并不好用，有其缺陷

ic5 · *发表于* 2006-7-14 15:40:00

2楼，说说其缺陷！

我没有接触过RAS，但听说过其产能大！

请有经验的大侠谈谈其优点和缺点！

WUXIAOTIAN · *发表于* 2006-7-18 01:01:00

感觉该机器的加工后particle对策比较麻烦。护板清洁也不太方便.产能还可以，有两个腔，类似于该公司的CES-343（该机有三个腔）

ycxmy · *发表于* 2006-7-18 07:39:00

其靶材的寿命和圴匀性的调整如何解决？

chenchen · *发表于* 2006-7-30 00:00:00

ras产能比相同口径的镀膜机大了1倍多，镀膜前的排气时间比较短，但是溅射速率比较慢，所以对一个比较厚的薄膜可能总的镀膜时间可能比电子束蒸发镀膜机慢。镀膜性能是相当好的。外观主要是点状膜破裂点问题，可在高倍光学显微镜下观察，定期的设备清洁可以解决该类问题。当然还有其他的外观问题，需要对症下药。解决后表面质量可以是好的。靶材的均匀性修正需要打开溅射腔体，调整的时间不长，但恢复到正常生产需要的排气、处理、试验过程时间较长。夹具制作的费用较高。