硅V形槽(硅V型槽)是利用单晶硅各向异性的特性制作的。通过晶面自然解理形成的V形槽侧壁光滑、线条笔直,水平间距精度高,无精密机械加工的累计误差,能和光电子器件的间隔严格匹配,垂直方向也在同一个平面上,大大减少了光电子器件和光纤耦合对准的损耗。
硅V形槽光纤阵列的新用途是大功率半导体激光器阵列的对准耦合封装。我们已为客户提供127μm间距和250μm间距规格的硅V形槽,也可以根据用户的要求提供特殊尺寸的硅V形槽。
通道数 ( N ) 8, 16, 32, 48, 64 或客户指定
通道间距(S) 127 um、 250 um ±1.0um
长度(L) 8.0mm或客户指定 ±0.1mm
宽度(W) 3.655mm或客户指定 ±0.1mm
厚度(T) 0.500mm或客户指定 ±50um
盖板(C) 1. V形槽硅片
2. 硅片
3. 耐热玻璃片
V形槽角度 54.74º
温度范围 -60ºC to 150ºC
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