怎么解决IRcut呈淡黄色的问题

我司用3台光驰机 GENER-1300 做IRcut 其中2台机子镀来了的产品呈浅黄色，有时好有时差，抓狂中，另外一台颜色正常。
试过很多方法了，氧气加了10sccm没有效果，光斑调整（担心打到铜上溅射上去）也没效果，温度250降到240和225也没效果（而且变得更糟糕），总体来说一段时间好一段时间颜色不正常。那位大侠有办法解决？期待中

m没有图片和分光数据 用的药材和基板是什么 真空度怎样  还有就是清洗参数   你这样笼统的是解决不了问题的

ghtzna 发表于 2011-7-16 09:57
m没有图片和分光数据 用的药材和基板是什么 真空度怎样  还有就是清洗参数   你这样笼统的是解决不了问题的

用的药材是TiO2和SiO2 基板是肖特D263T玻璃 真空度开始镀膜前1.0E-3帕 镀膜时候SiO2 1.5E-3，TiO2 2.5E-3 不是清洗的问题，因为其它产品没事，就镀IRcut有问题

3台机器时好时坏，有的可以，没有这种情况，应该是前段清洗的问题，有些清洗后看着没什么问题，镀膜了就显现出来了

充氧不足