请各位给点建议，我在镀Ge 宽带时，真空度、温度、表面光洁度都没有问题，可是镀完

tyf3328 · *发表于* 2004-11-23 02:27:00

请各位给点建议，我在镀Ge 宽带时，真空度、温度、表面光洁度都没有问题，可是镀完后，拿出来轻轻一擦就掉了，请各位同行指点一下，谢谢了

tyf3328 · *发表于* 2004-11-23 05:49:00

真空度在2*10-3，温度150度，表面认真擦拭过，从前他们这么镀没有问题，参数都没变，不知跟镀膜机本身有没有关系？

michaelzhj · *发表于* 2004-11-23 05:56:00

我用的是溅射镀膜，以前功率小的时候，膜也是一擦就掉，但是现在就好了

cjyzq · *发表于* 2004-11-23 02:51:00

在镀Ge 宽带时，真空度、温度、你选的数据是多少？镀膜敷料选择的是那几种？再有镀膜蒸发速率几何？

michaelzhj · *发表于* 2004-11-23 03:28:00

不明白你说的真空度、温度、表面光洁度都没有问题指什么，轻轻一擦就掉了只能说明参数肯定有问题

CC5 · *发表于* 2009-11-25 12:17:36

返油，温度应该不是问题，高一点低一点都不是问题。

qjy · *发表于* 2009-11-25 14:03:28

楼主是在锗基片上做宽带增透吗?用的啥材料呀?阻蒸还是电子枪?

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