各位师傅，南光机光控有点问题，请帮忙看看，谢谢了！

南光机，用光控透射镀氧化锆，开挡板时 光信号突然下降3格左右，然后缓慢上升4-5格，再然后才开始正常的走值，比如光信号起始100开挡板变成97然后又升到102，凡是镀氧化锆的层数都是这样类似的情况，单独开挡板或者单独电子枪加能量都没问题，不知道各位有没有遇到过相似的问题，帮忙分析一下，请各位师傅不吝赐教。谢了

氧化锆質量好嗎?

质量没问题，是在没有换料的情况下出现的这种情况。

是不是挡板把光路挡了呢  当你开挡板的那瞬间，会把投射光挡到一点，这时数值会下降 然后迅速有上升  以为已经有蒸发  你看我说的对不  我只是猜测   你可以观察下  

我来学习学习

xiaojiang007 发表于 2011-3-18 21:49
是不是挡板把光路挡了呢  当你开挡板的那瞬间，会把投射光挡到一点，这时数值会下降 然后迅速有上升  以为已 ...

单独开挡板或者单独电子枪加能量都没问题，但只要电子枪加起能量，开关挡板时就会不正常。

加长预溶时间

wlinliu 发表于 2011-3-19 12:34
加长预溶时间

不光是第一层氧化锆有这个问题，多层膜中的每层氧化锆都是这样的。您在给分析分析，

加大预溶功率,你的多层ZrO2是否用的是同一个ZrO2,打的太深可能也有影响.
如果一块ZrO2用2次,那么你一次用2个坩埚就放2块ZrO2,下一炉就把2块ZrO2都反过来再用一次,如果是更多层如此循环.或更换更大块的ZrO2将光斑调大,可不用反过来

学习！

我也遇到过同样的问题！