金属厚膜怎么做啊？？？

wzh299 · *发表于* 2010-12-28 21:01:44

我现在在做电光调制器，为了提高调制速率，行波电极必须用厚电极的。但是这个在湿法腐蚀的时候，存在横向腐蚀的问题，使得电极图形制作相当困难。在下请教各位大虾有经验的谈谈。

dinghaiyi · *发表于* 2010-12-29 10:44:57

用干法刻蚀

dinghaiyi · *发表于* 2010-12-29 11:11:42

你腐蚀的是什么金属？

wzh299 · *发表于* 2010-12-29 14:24:40

金干法腐蚀试过但是效果不好而且几乎没有人用干法腐蚀的我很少用干法！厚度在5um

wzh299 · *发表于* 2011-1-10 10:09:31

大虾们帮帮忙啊！

dinghaiyi · *发表于* 2011-1-13 20:00:12

用碘:碘化钾:水=1:4:40吗?

wzh299 · *发表于* 2011-1-14 09:20:30

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这个好像是腐金液哦，我也是用这个。比例稍微有些不用！

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