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光学镀膜技术及膜系设计
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光学玻璃镀膜前处理提高附着力亲水性
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[原创]
光学玻璃镀膜前处理提高附着力亲水性
火...
5.3k
2
wisbay
Lv.2
发表于
2011-3-21 11:34:21
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广东
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一.紫外清洗的发展历史
紫外光表面清洗技术在国际上是随着光
电子
信息产业的发展而提出来的。七十年代中期美国军事电子技术和器件实验室应用紫外光照射清洗石英晶片取得满意的效果。但是,美国在较长的时间里紫外光表面清洗技术主要在军事领域中进行研究性应用。直到九十年代初,日本和美国先后将UV光清洗机应用于民用光电子
产品
的工业生产过程,并开始向我国个别外资LCD
企业
在要求技术保密的情况下提供UV光清洗机。随后,日本在发展紫外光表面清洗技术的同时,紫外光表面改质技术也得到了发展。在二十世纪末,日本等先进工业国家紫外光表面清洗和改质技术由信息产业逐步扩展到金属、塑料、橡胶等工业生产过程。二十世纪九十年代后期,我国的信息技术和产业以惊人的速度飞速发展,特别是
平板
显示
技术的高速发展,LCD显示屏由TN级向STN和TFT不断提升,新型的OLED显示产品也开始进入市场。由此,对制备
工艺
过程表面质量要求越来越严格,紫外光表面清洗技术的优越性已经得到广泛认可,紫外臭氧清洗机的需求量正在不断增长。
二、紫外光表面清洗和改质的工作原理
低压紫外汞灯发射的双波段短波紫外光照射到试件表面后,与有机污染物发生光敏氧化作用,不仅能去除污染物而且能改善表面的性能,从而提高物体表面的浸润性和粘合强度,或者使
材料
表面得到稳定的表面性能。根据不同需要,既可以对物体进行紫外光表面清洗,也可以进行紫外光表面改质(或叫表面改善),紫外光表面清洗和改质的机理有相同点,但也有区别。
2.1 紫外光清洗工作原理
VUV低压紫外汞灯能同时发射波长254nm和185nm的紫外光,这两种波长的光子能量可以直接打开和切断有机物分子中的共价键,使有机物分子活化,分解成离子、游离态原子、受激分子等。与此同时,185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(O2)分解成臭氧(O3);而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和活性氧(O),这个光敏氧化反应过程是连续进行的,在这两种短波紫外光的照射下,臭氧会不断的生成和分解,活性氧原子就会不断的生成,而且越来越多,由于活性氧原子(O)有强烈的氧化作用,与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应,生成挥发性气体(如CO2,CO,H2O,NO等)逸出物体表面,从而彻底清除了粘附在物体表面上的有机污染物。
紫外光表面清洗原理表达式:
2.2 紫外光改质工作原理
低压紫外汞灯发射的185nm和254nm波长的紫外光除有清洗去除物体表面的有机污染物的功能外,而且还能够进行表面改质。其基本原理为:光子能量把物体的表层分子键打开的同时拉出H原子和C原子,与空气中的氧气分解出来的活性氧(O)生成极性很强的原子团(OH,CHO,COOH)即羟基等活性基,同时材料表面有机污染物的清洗效果显著,活化的基体表面具有良好的粘合力和键合特性,这些羟基和涂料、粘合剂、电镀材料相结合,形成新的化学键,从而使材料表面得到通常情况下得不到的很强的粘结强度,或者使材料得到稳定的表面性能。
紫外光表面改质原理表达式:
主要在液晶显示器件、
半导体
硅晶片、集成
电路
、高精度印制电路板、光学器件、石英
晶体
、密封技术、带氧化膜的金属材料等产生过程中采用光清洗方法最为合适。主要材料:ITO玻璃、光学玻璃、铬板、掩膜板、抛光石英晶体、硅晶片和带有氧化膜的金属等进行精密清洗处理。可以去除污垢:有机性污垢、人体皮脂、化妆品油脂、树脂添加剂及聚亚胺、石蜡、松香、润滑油、残余的光刻胶等。
目前客户应用主要集中在微电子,
太阳能
硅片清洗,ITO玻璃处理方面,主要是清洗基片表面的有机物,二是改善表面的亲水性,防止客户
镀膜
后产品粘接力不够掉膜等问题,希望再在光学玻璃方面进行一定的业务拓展,有兴趣的可以留下EMAIL,发些
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大家看一看,也可以了解下,以后有需要随时欢迎大家联系。
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木口
Lv.7
发表于
2011-3-21 12:00:29
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江苏
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joson
Lv.8
发表于
2011-3-28 09:11:09
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