五氧化三钛速率多少合适呢?

地平线 · *发表于* 2012-1-31 17:50:53

大伙都说说你们一般镀膜TI3O5速率打到多少啊??我这用的龙翩机,一般打到4-5左百.

xiazg · *发表于* 2012-2-1 09:37:23

JJK maxtek 晶振片有需要的吗 15068338773 夏志国 QQ1046118891

z1206l · *发表于* 2012-2-1 12:48:23

和电子枪的性能，

膜料形态，预熔情况有很大关系。

而且和你要镀膜的质量和良率也影响很大。

在不影响质量的情况下，当然是越快越好了。

一般3A/S吧。

良哥 · *发表于* 2012-2-1 15:11:08

3-5A/S

地平线 · *发表于* 2012-2-1 17:35:13

嗯,受教了.

zjtzzw · *发表于* 2012-2-1 18:28:17

正常情况为：3.5~4A 速率越快，效率越高嘛，但要考虑光洁度。

xiao2011 · *发表于* 2012-2-1 22:32:04

3-5a/s

www.lugo123.com · *发表于* 2012-2-2 09:42:53

hacker · *发表于* 2012-2-2 10:30:40

龙翩机,一般打到6A/S都可以，Temescal的电子枪的性能很好

E501559 · *发表于* 2012-2-2 15:36:16

根据Prosess，3~5A

地平线 · *发表于* 2012-2-2 19:04:02

本帖最后由地平线于 2012-2-2 22:59 编辑

我们用的有JEOL JST-10F/203电子枪,有PLASMATECH,电压在6KV左右,在打TI3O5时,电压在6KV左右,电流打到550A(TI3O5)左右,速率一般在3.5A/S,想问下各位有用同样电子枪的同行,这样打是不是打低了?因为实际我设想如果速率能打到5左右会比较好(速度会快一点),但是电流打大了,又担心电子枪过载太大,发射器钨丝寿命太短.
请各位赐教了.

九段坡 · *发表于* 2012-2-5 10:06:19

有条件的话最好做个实验每个速率、对应你的产品所需温度等再对比下光谱看看折射率、吸收，膜层的微观结构应该是不好搞了。这些资料供应商应该可以提供的，每款机器他们都会做实验对比数据的。

[讨论] 五氧化三钛速率多少合适呢?

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