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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › [求助]退火对膜的影响

[求助]退火对膜的影响

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发表于 2003-6-17 18:46:00|吉林 | 查看全部 阅读模式
“在SiO2衬底上生长的多晶硅薄膜，经脉冲退火后晶粒的择优取向变成〈100〉晶向
”
该怎么解释阿？
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slyz 楼主Lv.2 发表于 2003-6-20 18:09:00|吉林 | 查看全部

[求助]退火对膜的影响

实验的，理论的，都可以呀！
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ic5 Lv.12 发表于 2003-6-20 18:46:00|江苏 | 查看全部

[求助]退火对膜的影响

没做过！
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