[求助]Al2O3速率变化太大

vietti · *发表于* 2004-4-8 18:33:00

Al2O3的速率十分不稳，变化太大。

一般这种情况是预熔得不好或者还有其他的问题？

该如何调整呢？

哪位大大请指教一下！

vietti · *发表于* 2004-4-8 22:05:00

沉积速率

ababab · *发表于* 2004-4-13 00:42:00

Al2O3确实不是很好镀。对电子枪要求较高。

michaelzhj · *发表于* 2004-4-8 20:46:00

Al2O3的什么速率变化太大？说清楚点

zz · *发表于* 2004-4-9 06:22:00

没有预熔好

vietti · *发表于* 2004-4-12 16:51:00

一般AL2O3预熔的电子枪功率和沉积时的功率相比，哪个大些？

vietti · *发表于* 2004-4-12 17:47:00

我预熔时功率比沉积时小些。

但有时挡板都被高温熏黑了，预熔时温度有这么高吗？

还是我预熔的功率太大了？

zz · *发表于* 2004-4-12 18:41:00

难道它的熔点比TA2O5还高吗?

cjyzq · *发表于* 2004-4-13 07:01:00

Al2O3蒸镀：－看预熔、二要调整好电子枪的光斑大小。

xfx9721 · *发表于* 2004-4-13 17:12:00

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sauke · *发表于* 2004-4-14 17:47:00

你可先确定蒸镀时最后稳定下来的功率，SOAK PW1 可略高于这个功率，SOAK PW2 略低于这个功率。这样有利于在蒸镀时的功率稳定。

yzhuang · *发表于* 2004-4-29 03:20:00

预熔时功率可稍大些，要让表面全部熔化，蒸镀时让光斑大一点，并且一定要熔开后才打开挡板！

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