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[求助]请教定值法光学监控的原理是怎样的? ...
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[求助]请教定值法光学监控的原理是怎样的?
4.9k
17
vietti
Lv.7
发表于
2005-4-20 22:51:00
|
湖北
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请教定值法光学监控的原理是怎样的?
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共 17 个
ic5
Lv.12
发表于
2005-4-22 17:09:00
|
日本
|
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定值法?是什么东东,能说详细点吗?
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vietti
楼主
Lv.7
发表于
2005-4-22 19:14:00
|
湖北
|
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极值法是每层膜到极值点停,但极值点的判断很容易产生误差。
定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长,镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止,镀下一层膜时还是到这个点停,相对极值法可减少很多误差。
具体是怎样?哪位可以说说?
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zz
Lv.10
发表于
2005-4-22 21:05:00
|
广东
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好象不是你说的那样:极值法到极值点停;定值法即到定值法停。得通过多次实验才可确定定值。理论上应是极值法的精度高。
是否镀下一层还是该点停,我看未必,得根据你的设计膜厚而定。
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adongs_zju
Lv.8
发表于
2005-4-22 21:33:00
|
上海
|
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我觉得3楼的说的有道理。我的理解是:
极值法是每层膜到极值点停,然而在极值的地方dT/dt=0,也就是说透过率(或者反射率)对膜层厚度的灵敏度最小,因此极值监控的厚度误差比较大,不过比较容易监控----到(过)极值就停。
定值法选择某个监控波长,算出这一层的反射率值,光控到这个点就停。
可能需要自己试验摸索一下吧!
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eagle1
Lv.7
发表于
2005-5-8 04:37:00
|
新加坡
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我觉得极值法好像是接近于极值点的地方停。有那位更清楚的大家请出来介绍一下。
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wazxq
Lv.10
发表于
2005-5-8 19:24:00
|
广东
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看了楼上的讨论,我的观点是
定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长,镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止,镀下一层膜时还是到这个点停,相对极值法可减少很多误差。
这种做法是不可取的,这种算法比用极值法误差大很多,由于镀膜时状态是时时变化的,这种算法是做理论的人想的,实际没有意义。
真正采用的是依照PEAK等通过算法计算出停镀点的
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zz
Lv.10
发表于
2005-5-8 22:32:00
|
广东
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也不能说是不可取的,若只是同一膜系,可通过经验总结出适用定直点.
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yybeyongyy
Lv.7
发表于
2005-6-6 14:23:00
|
陕西
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定值法适用于截止滤光片的监控。它比定值法有更高的监控精度,能避免镀制H/2的麻烦。它用控制波长监控,监控波长在截止波长附近(通过在监控片上预镀来实现)。定值是可以计算出来的,监控方便。
我从书上看的。
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yybeyongyy
Lv.7
发表于
2005-6-6 14:35:00
|
陕西
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我做毕业设计,是长波通滤光片的定值法监控。所以只知道点对截止滤光片了解。
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xiaozhou
Lv.8
发表于
2005-6-7 06:38:00
|
四川
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定值法好像是先算出合适的一个反射率值及合适的监控波长,镀每层膜时当光控
的反射率达到这个点就停止,镀下一层膜时还是到这个点停,相对极值法可减少很多误差。
这种做法是不可取的,这种算法比用极值法误差大很多,由于镀膜时状态是时时变化的,这种算法是做理论的人想的,实际没有意义
以上观点我觉得不对,定值法在现实生产中应用也是较多的,很多全自动镀膜机就是应用的该方法来控制的。它也并不是一定要走的定数,象过极值的我们一般是设计出一个系数来,跟据头一个极值来乘以该系数得到它的走值。
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xiaozhou
Lv.8
发表于
2005-6-7 06:41:00
|
四川
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当然一个控制比较片控制的层数越少越准确
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