为什么抛光一定要用去离子水？

请问大家晶体抛光过程中为什么要用到去离子水啊？有什么作用啊？请大家帮忙详细说下吧，谢谢！

抛光是为了更好的镀膜,更好排除表面杂质,提高膜后的光洁度以及镀膜质量拉

去离子水，顾名思义就是可以将表面的正负离子除去的水。存在与物质表面的离子物质会产生静电作用，从而使得表面有杂质，影响表面清洁度，不利于镀膜；表面由于静电作用而结合出现的细小颗粒状的物质在抛光时会将表面刮伤，虽然肉眼看不出来，但是光线在表面会出现漫反射，对表面要求很高的产品是不允许的。，

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学到很多知识，谢谢各位的探讨！

去离子水就是纯水，水里边不再含有其他离子，比如Ca2+，Mg2+，Cl-。怎么能去除其他表面的离子？

去离子水
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  去离子水（Deionized water；DI water；de-ionized water；或deionised water），是去掉了钠、钙、铁、铜等元素的阳离子以及氯、溴等元素的阴离子后的水。这意味着，除了H3O+和OH−外，去离子水中不含有其他任何离子成分，但仍可能有一些有机物以非离子形态存在于其中。去离子水可通过离子交换分离等过程生产。

蒸馏水
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蒸馏水是经过蒸馏处理后的水。一般认为蒸馏水是纯净物。蒸馏水一般作为要求比较严格的化学实验。根据蒸馏次数的差异，可以区分为一次蒸馏水、二次蒸馏水和三次蒸馏水等。其中的一次蒸馏水尚有部分杂质，二次、三次蒸馏水的纯度更高，通常用于有特殊要求的实验。

1990年代前，抛光粉基本都用蒸馏水。

去离子水，也叫DI水，在CMP技术中使用DI水，不允许有任何杂质，主要是考虑产品的抛光质量。