Z-ratio是什么意思？

vietti · *发表于* 2004-4-1 23:56:00

如题

zz · *发表于* 2004-4-2 01:21:00

一个参数设置

vietti · *发表于* 2004-4-2 16:48:00

不同材料设置不一样？

coatingli · *发表于* 2004-4-2 17:12:00

具体不知道怎么叫，不过在IC/5里面说明了它的功能

The IC/5’s automatic Z-ratio determination, or Auto Z,increases the accuracy of thickness and rate control and eliminates the need for the user to estimate the acoustic impedance (Z) ratio.3 When multiple materials are deposited on a crystal, the Z ratio changes as the ratio of the materials on the crystal changes. Therefore, the value for Z needs to be dynamic. Auto Z continually updates the Z ratio during the process. This feature is especially important for maintaining thickness and rate accuracy during the deposition of layered or alloyed materials onto a single crystal.

zz · *发表于* 2004-4-2 18:40:00

不同的当然不一样了，应是acoustic impedance

rmchen · *发表于* 2004-4-3 08:13:00

莱宝叫它“Z-Number”，巴尔采斯叫它“Z-Match”。这是一个与材料的声阻抗有关的系数，但它又并不是声阻抗系数本身，而是根据声阻抗系数推算出来的一个参数，主要用于晶振法监控膜厚。晶振法的原理是：材料沉积在晶振片的表面会导致晶振片的固有震荡频率下降，频率变化率与材料的厚度近似成线性关系。这个公式在膜不太厚的时候是近似正确的，但当膜的厚度太大时，计算值与实际值之间的偏差就不容忽视，因此需要引入一个修正因子。这个就是“Z-Ratio”。通常每种膜料的Z数都不相同，需要查手册。