我想用激光去切割ITO（掺锡氧化铟）材料，求指导

Highhua · *发表于* 2012-6-28 20:53:32

如题，请问有什么问题需要注意吗？
需要用什么激光器？怎样做才不会损伤ITO材料呢？

蓦然回首 · *发表于* 2012-6-30 13:08:47

问的模糊，想切割靶材，能切铜铝的就能切，想切割在玻离基板上的倒着切用co2或用淮分子

Highhua · *发表于* 2012-6-30 17:22:33

蓦然回首发表于 2012-6-30 13:08
问的模糊，想切割靶材，能切铜铝的就能切，想切割在玻离基板上的倒着切用co2或用淮分子

请问一下，切割ITO薄膜的机理是什么？熔化切割还是氧助熔化切割呢？
我想切割用作显示的ITO膜，激光的功率密度是多少？切割速度，焦距等工艺参数可以提供吗？

ligaowen8783 · *发表于* 2012-7-2 14:14:53

太阳能电池里用的就是跟你一样的。可以的。

Highhua · *发表于* 2012-7-2 14:55:36

ligaowen8783 发表于 2012-7-2 14:14
太阳能电池里用的就是跟你一样的。可以的。

请问你可以给我一些参数吗？
薄膜的厚度，切割速度，
光束的直径，聚焦透镜焦距，焦点位置，激光功率大小等等

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