ZnS基片镀红外增透膜的问题

如题，
发现实际镀的光谱透过率与设计值相差挺大，而且每次都有差异，理论剩余R可低于1%，实际超过6%。
红外增透膜与可见相比，有何不同之处，镀时应该注意啥问题？
我的参数：本底3*10-3pa
    加热120°     霍尔辅助（150V/3A）Ar:35sccm(此时8.8-9.2*10-3pa)
磨料：ZnS（10A/S）; YbF3(4A/S),  晶控。
谢谢！

一般测试用的是2mm厚的陪镀片。中波应该没问题。zns在10um  以后吸收变大，实际的透过率偏低。
红外膜都是测透过率，反射测不准，不知道红外波段的反射你是怎没测的，你的标准镜，标定没。

我是武汉高德，一点个人看法。

tooling 折射率都确定没有问题了？
还有YF3用离子源了吗

楼主是做哪个波段的，是否有吸收问题，还有单层膜的折射率是否准确？

clark007 发表于 2014-1-6 10:14
楼主是做哪个波段的，是否有吸收问题，还有单层膜的折射率是否准确？

中长波，8-12波段。

如果把你的真空度 在提高一些 做一下，看是否有的好的结果。  不过你也可以用磁控溅射 在ZnS 基底上，沉积GeC 或DLC 做增透保护膜 ，如果需要的话， 谢谢

红外膜比可见光厚多了了，误差太大