YbF3、YF3的电子枪蒸镀问题

ferry

如题，
用电子枪蒸发YbF3、YF3时，膜料用过多次后，变的粘稠状（熔融态下），如果用小束班，易挖坑。导致膜层厚度炉次变化（只用晶控）
如果把磨了表面层去掉，1是不好去除，2是太浪费；
有几个疑问：1
1电子枪打完膜料，表面层发黑，有无影响？
2每次镀完新加料后，对膜层质量有无影响？
3挖坑问题如何有效解决？
请老手帮解答下，谢谢！

ferry

xiaohuilee 发表于 2016-4-26 20:56
表面发黑我们都选择给去除掉  有些地方很难去除 试验证明对曲线影响不算太大 但是要是保证每炉的重复性 还 ...

表面发黑，除了坩埚污染？是不是还有因膜料失氟导致，因为除了表面变暗，发黑，还有膜料变的易挖坑。用过多次后，去除表面很难办到，都熔化一起了。有没有更好方式呢？
还有，氟化物预熔不好，对表面光洁度影响多大？
谢!