关于基板不同位置的材料折射率

请教各位大侠，如附图1-5分别是材料在伞具不同位置的曲线，可见不同位置的基板折射率存在一定的差异，个人认为主要原因有1.基板不同位置的温度2.真空度3.蒸发物质的蒸汽到达基板的角度   不知各位大侠是不是这样，还有别的什么因数影响较大？如何解决？欢迎各位指教。

看来是补正板问题。你的补正板是不是每次都在同一高度？

真空度没有那么大差异，角度的话，最多是峰值有些差异，但位置应该是差不多的。

离子源分布

ouyuu 发表于 2013-8-24 00:47
看来是补正板问题。你的补正板是不是每次都在同一高度？

真空度没有那么大差异，角度的话，最多是峰值有 ...

你好，暂时不考虑辅正板因数，你说的对，修正板还没做好，所以厚度不一样，关键是45和123峰值相差太多。大师你所说的“角度导致峰值的差异”这里的角度是指修正板的角度吗？

otxtc 发表于 2013-8-24 09:00
离子源分布

未采用离子源

折射率啊

别沉了    各位大师如何解决啊？

修折射率

应该主要是修正板影响的因素比较大，，，其次峰值的高低，应该是折射率的差异，用温度试纸看伞架1--5排的温度差异，再来，看机台是否有漏气，漏气导致真空不稳定。。。。个人观点，希望对你有帮助。。。。

魅力薄膜 发表于 2013-10-1 02:19
修折射率

如何修啊  请指教

老城 发表于 2013-10-2 00:14
应该主要是修正板影响的因素比较大，，，其次峰值的高低，应该是折射率的差异，用温度试纸看伞架1--5排的温 ...

温度试纸如何使用没用过，请指教谢谢