关于基板不同位置的材料折射率

dcjlcm · 发表于 2013-8-23 23:00:02

本帖最后由 dcjlcm 于 2013-8-23 23:02 编辑

请教各位大侠，如附图1-5分别是材料在伞具不同位置的曲线，可见不同位置的基板折射率存在一定的差异，个人认为主要原因有1.基板不同位置的温度2.真空度3.蒸发物质的蒸汽到达基板的角度不知各位大侠是不是这样，还有别的什么因数影响较大？如何解决？欢迎各位指教。

ouyuu · 发表于 2013-8-24 00:47:23

看来是补正板问题。你的补正板是不是每次都在同一高度？

真空度没有那么大差异，角度的话，最多是峰值有些差异，但位置应该是差不多的。

otxtc · 发表于 2013-8-24 09:00:28

离子源分布

dcjlcm · 发表于 2013-8-24 20:34:20

ouyuu 发表于 2013-8-24 00:47
看来是补正板问题。你的补正板是不是每次都在同一高度？

真空度没有那么大差异，角度的话，最多是峰值有 ...

你好，暂时不考虑辅正板因数，你说的对，修正板还没做好，所以厚度不一样，关键是45和123峰值相差太多。大师你所说的“角度导致峰值的差异”这里的角度是指修正板的角度吗？

dcjlcm · 发表于 2013-8-24 20:35:05

otxtc 发表于 2013-8-24 09:00
离子源分布

未采用离子源

诸葛流星 · 发表于 2013-8-26 11:19:29

折射率啊

dcjlcm · 发表于 2013-9-2 23:31:12

别沉了各位大师如何解决啊？

魅力薄膜 · 发表于 2013-10-1 02:19:43

修折射率

老城 · 发表于 2013-10-2 00:14:43

应该主要是修正板影响的因素比较大，，，其次峰值的高低，应该是折射率的差异，用温度试纸看伞架1--5排的温度差异，再来，看机台是否有漏气，漏气导致真空不稳定。。。。个人观点，希望对你有帮助。。。。

dcjlcm · 发表于 2013-10-6 17:44:25

魅力薄膜发表于 2013-10-1 02:19
修折射率

如何修啊请指教

dcjlcm · 发表于 2013-10-6 17:45:01

老城发表于 2013-10-2 00:14
应该主要是修正板影响的因素比较大，，，其次峰值的高低，应该是折射率的差异，用温度试纸看伞架1--5排的温 ...

温度试纸如何使用没用过，请指教谢谢

riy2000 · 发表于 2013-10-9 14:05:50

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