南光机真空问题

wdydede · *发表于* 2014-1-1 14:33:49

2002年的南光机，2X-70机械泵+扩散泵，总是有这样的现象：低真空抽到20-10Pa，就抽不动了，有时还有真空度越抽越不好，此时停一下机械泵，低真空很快就抽到能开高阀了，高真空还行。请问这该如何处理？

zao · *发表于* 2014-1-2 15:52:15

悲剧

wdydede · *发表于* 2014-1-5 12:45:27

请各位大侠不吝赐教！！

Jimmy_tang · *发表于* 2014-1-8 13:24:09

是不是该换一下真空泵的机油了？你看看机油的颜色是否正常。

wdydede · *发表于* 2014-2-3 20:48:46

有南光的人没有？

苏州膜头 · *发表于* 2014-2-5 22:25:03

查一下机械泵的放气阀，电磁阀，不行的时候测管道，机械泵泵口真空。

jingxiaobao · *发表于* 2014-2-25 16:51:37

同意楼上的说法，如果是这样的话，先测量一下管道的真空，多测几次，就能找到原因的，我觉得你看看低阀是不是有串气的现象。

rollo_tomasi · *发表于* 2014-2-25 16:54:47

太老了啊，花点钱换一个！

苏州膜头 · *发表于* 2014-2-25 20:11:44

10帕-20帕肯定是漏气啊，慢慢查吧。首先确定是前级管道还是真空室漏气。新的机械泵只能是泵口真空达标，不能代表什么。元旦到现在还没有好，你要崩溃了。

wdydede · *发表于* 2014-2-25 22:02:09

我个人的判断不应是真空室漏，因为能抽到高真空，机械泵的放气阀，电磁阀等均检查维修了，也不见好转，

rollo_tomasi · *发表于* 2014-2-27 08:00:32

你的机器没有装配罗茨泵？

rollo_tomasi · *发表于* 2014-2-27 08:07:46

低真空抽到20-10Pa，可能就是你的机械泵的极限真空，在10Pa和10E-2Pa之间的真空度，机械泵和扩散泵的效率都很低，做好加装一个罗茨泵！
但你是突然出现的问题，应该与罗茨泵无必然关系，检查一下机械泵和低阀的管道吧！

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