奇怪现象

各位大侠:近来国产膜厚仪发生奇怪问题，正常情况下，镀MgF2，下反监控，光量值从90应走到25左右，可前一段修了设备后，光量值就不稳定了，从90只走到45左右就到PeaK点！？望各位不吝赐教

角度偏了吧

检查光路

光控极值法不要太在意光量走值，只要做出来的东西一致就不用管它走到25还是45

如果监控片上光斑偏了，
1. 光量变低，稳定性会变差。
2. 光斑都有一定大小，偏离了正常区域，膜层厚度不一致加大，平均效果使得高低分辨变差，极值变得更平坦，增加判断难度。
单层极值问题还不大，多层的话，极值厚度位置也会偏离些吧。

大侠，是不是设备光源灯出问题了，或者是光控系统的问题

哈哈，应该是光能量不足了，清洗通光窗口，检查电源恒流，灯的接触电阻。