电子枪真空度影响求助

缘睐汝痴 · *发表于* 2011-9-24 14:58:10

各位大哥，请教一下电子枪真空度的问题：我知道电子枪必须在高真空下才能开启，但是不知道为什么?另外，就是我们在镀需要充氧的材料过程中，真空度明显在打开的范围之下，真的很疑惑。比如我们的南光机，电子枪是在4E-3高真空下才能打开的，但是在镀膜过程中，真空度超过了设置的4E-3，为什么此时又能工作呢？谢谢大家了

longmin · *发表于* 2011-9-24 18:54:45

鎢絲會氧化與會異常放電
通常4E-3為本底真空
與電子槍開啟之真空2E-2有差異

E501559 · *发表于* 2011-9-26 08:32:01

是不是充氧过多或者真空度不稳定等类似状况

sery1234 · *发表于* 2011-9-26 08:52:30

这个问题并不能算是什么问题，人们都会有一种潜意识，认为到这个真空度才能开，那么超过这个真空度就会关掉，其实不然，这只是一个单向开关，设计者把电子枪开启的条件设置在4 e-3帕，但是它保护的条件并不是这个真空的值，所以一旦到达使用条件后，没有超过电子枪的保护条件，电子枪都是可以打开，当你完成一次镀膜后，达到复位条件，设备又复位了，所以下次使用时候，还是要先到达设定开启真空度。