求教磁控溅射靶材相关问题

fishman_oecr · *发表于* 2007-5-16 09:00:00

前段时间在合肥科晶公司买了LiNbO_3的单晶靶材，在3pa气压，15立方厘米/秒氩气流，80W入射功率，水冷靶材托盘的条件下溅射20分钟，结果靶材粉碎。不知哪里出了问题，请高手指点不胜感激。

PS：有做磁控溅射，或LiNbO_3薄膜的兄弟可以相互交流哈。

我的QQ：17625001

nanovac2 · *发表于* 2007-5-17 17:23:00

功率不要一下子加上去，分好几步加上去。

caodahua · *发表于* 2007-6-5 11:41:27

冷却效果不佳导致靶材开裂

huhu · *发表于* 2007-7-1 18:10:48

问题原因找到了吗？

正常靶材，初次使用时，不要连续溅射过长的时间。有条件的话可以通过观察窗看看靶材溅射过程是否有异常。
工作水压和温度都要进行控制。必要的时候监控一下出水温度。

谁了解靶材制作工艺？

dianzikexue · *发表于* 2007-7-2 09:02:47

是不是冷却效果不够理想导致靶温过高啊学习中

killmeok · *发表于* 2007-7-26 23:00:33

建议使用RGA对真空室环境进行分析

n122969 · *发表于* 2007-7-28 00:56:34

這問題有三方向:
(1)工率過高,濺射時間過長
(2)底座水冷道設計是否有問題
(3)靶材晶格不均,濺射時變形量過大而造成裂,
可目視裂痕方向做基本辦別

jeasams690 · *发表于* 2009-5-19 22:19:42

看来你的话题没人顶啊，做靶材的可以到“靶材之家”去看看，那里全是搞靶材的，不过是个新论坛，要大家一起顶：www.bczj.net

回复|共 7 个