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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 抽真空只能抽到1.0E-3Pa,为什么？

抽真空只能抽到1.0E-3Pa,为什么？

3.5k 10
发表于 2004-12-23 06:23:00|江苏 | 查看全部 阅读模式

抽真空一下午，只能达到这个真空度

真空系统为油扩散泵+机械泵+油回转泵

前些日子加过油回转泵的油，但另外两台机器也加了，没问题；

感觉不像是leakage

为什么呢？
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回复|共 10 个

zz Lv.10 发表于 2004-12-23 19:01:00|广东 | 查看全部

是否加热？有POLYCOLD？

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snebur Lv.9 发表于 2004-12-23 20:56:00|上海 | 查看全部

leakage during high vcuum

别排除高真空漏气的可能性！
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Leesnow Lv.9 发表于 2004-12-24 23:14:00|江苏 | 查看全部
看一下每个系统的抽气时间是否正常，逐个的排除！
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x_x_x_f 楼主Lv.2 发表于 2004-12-27 05:19:00|江苏 | 查看全部

有POLYCOLD的

抽的时间长了可以达到8.7E-4Pa

在抽气情况下转动各个转动部件压力无明显变化，没有出现微小的上升。

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Leesnow Lv.9 发表于 2004-12-27 16:10:00|江苏 | 查看全部

那肯定是不漏气了

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xiaohe Lv.8 发表于 2005-1-5 19:35:00|安徽 | 查看全部

如果你的POLYCOLD放在真空室，那可能是扩散泵返油造成抽速差，检查一下高阀是否有油严重的现象。

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金炯 Lv.7 发表于 2005-1-7 21:08:00|内网 | 查看全部

其实这个系统抽到-3的量级应该可以接受了

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zz Lv.10 发表于 2005-1-11 23:28:00|广东 | 查看全部
真空室脏不?抽气系统有问题.
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x_x_x_f 楼主Lv.2 发表于 2005-1-13 18:05:00|江苏 | 查看全部

原因找到了，是窥视窗旋转处的橡胶环坏掉了，现在好了。

可以抽到1.5E-5Pa

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ippsong Lv.9 发表于 2005-1-15 01:11:00|广东 | 查看全部
恭喜恭喜

可喜可贺
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