抽真空只能抽到1.0E-3Pa,为什么？

x_x_x_f · 发表于 2004-12-23 06:23:00

抽真空一下午，只能达到这个真空度

真空系统为油扩散泵+机械泵+油回转泵

前些日子加过油回转泵的油，但另外两台机器也加了，没问题；

感觉不像是leakage

为什么呢？

zz · 发表于 2004-12-23 19:01:00

是否加热？有POLYCOLD？

snebur · 发表于 2004-12-23 20:56:00

别排除高真空漏气的可能性！

Leesnow · 发表于 2004-12-24 23:14:00

看一下每个系统的抽气时间是否正常，逐个的排除！

x_x_x_f · 发表于 2004-12-27 05:19:00

有POLYCOLD的

抽的时间长了可以达到8.7E-4Pa

在抽气情况下转动各个转动部件压力无明显变化，没有出现微小的上升。

Leesnow · 发表于 2004-12-27 16:10:00

那肯定是不漏气了

xiaohe · 发表于 2005-1-5 19:35:00

如果你的POLYCOLD放在真空室，那可能是扩散泵返油造成抽速差，检查一下高阀是否有油严重的现象。

金炯 · 发表于 2005-1-7 21:08:00

其实这个系统抽到-3的量级应该可以接受了

zz · 发表于 2005-1-11 23:28:00

真空室脏不?抽气系统有问题.

x_x_x_f · 发表于 2005-1-13 18:05:00

原因找到了，是窥视窗旋转处的橡胶环坏掉了，现在好了。

可以抽到1.5E-5Pa

ippsong · 发表于 2005-1-15 01:11:00

恭喜恭喜

可喜可贺

leakage during high vcuum