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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 油扩散泵返油？

油扩散泵返油？

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发表于 2009-4-11 14:33:45|上海 | 查看全部 阅读模式
若一真空腔有5个油扩散泵，如果同时打开扩散泵的高抽阀，前级管道的压力会上升，如果压力上升太多是否会引起返油？
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jkjkjk Lv.3 发表于 2009-4-11 17:13:07|上海 | 查看全部
开高阀前要对真空室抽低真空,不抽的话油要氧化
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宇宙深处 Lv.8 发表于 2009-4-12 10:16:28|福建 | 查看全部
前级真空要比腔体内的真空要高!!!!!!!!!!!
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