如何控制散差和改善光洁度

punl · *发表于* 2007-3-6 21:49:00

我们公司现在镀膜过程中有时散差偏大，还有光洁度不太好，主要镀截止和增透，材料SiO2和TiO2。

wazxq · *发表于* 2007-3-8 23:41:00

散差是什么~~~~~~~~~~~光洁度就复杂了很多原因都能引起~~~~~~~

zzzz · *发表于* 2007-3-9 16:10:00

应该是均匀性差吧

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shangdong · *发表于* 2007-3-14 06:14:00

镀膜过程中有时散差偏大，镀截止和增透，材料SiO2和TiO2

修正板修了几次还是那样　郁闷

molang2003 · *发表于* 2007-4-26 05:49:00

做补正板可不是件容易的事，这不光与补正板的形状有关，还与在蒸镀过程中光斑的位置有关系。

repulsebay1234 · *发表于* 2007-6-13 11:02:30

我们也准备镀SiO2和TiO2，高反。不知你们的设备情况，问题结决了吗？用离子源了吗？

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