Feedthrough

Feedthrough 在镀膜系统中应该如何解释？

通路，管口，真空室一般都预留一些管路以方便增加别的附件，我们有时也称为盲口（feedthrough collar ）。

科技词典中解释为：引（连接，连通）线；馈通，串馈，耦合，馈入装置，送进

不知道镀膜机中怎么译，楼上的说法不知是否确定？

我现在接触feedthrough在以下场合：EB system ----rotary feedthrough;;HV feedthrough;;Magnet through;;Stepper feedthrough;;water service feedthrough

RATE AND PHYSICAL THICKNESS MONITORING ------Dual crystal monitor sensor and feedthrough;;Crystal Monitor feedthrough

SUBSTRATE HOLDING AND ROTATION SYSTEM------Rotation drive motor and feedthrough

以上就是小弟所遇到的问题，望各位大侠能帮忙翻译一下，多谢！！！

Feedthrough在此可译为连接器件

是不是可以翻译成，膜厚自动控制过程中，操作者设定膜厚要求，晶控测量厚度并反馈到电子枪系统中

feedthrough 应译为穿通装置，在真空应用中指的是密封的联接器件，包括电、气、水的密封联接等，如果还有不懂的话，E-MAL:hongwei@deproducts.com。