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Feedthrough

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发表于 2004-4-15 22:27:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
Feedthrough 在镀膜系统中应该如何解释?
发表于 2004-4-15 23:39:00 | 显示全部楼层
通路,管口,真空室一般都预留一些管路以方便增加别的附件,我们有时也称为盲口(feedthrough collar )。
 楼主| 发表于 2004-4-16 00:05:00 | 显示全部楼层

科技词典中解释为:引(连接,连通)线;馈通,串馈,耦合,馈入装置,送进

不知道镀膜机中怎么译,楼上的说法不知是否确定?

我现在接触feedthrough在以下场合:EB system ----rotary feedthrough;;HV feedthrough;;Magnet through;;Stepper feedthrough;;water service feedthrough

RATE AND PHYSICAL THICKNESS MONITORING ------Dual crystal monitor sensor and feedthrough;;Crystal Monitor feedthrough

SUBSTRATE HOLDING AND ROTATION SYSTEM------Rotation drive motor and feedthrough

以上就是小弟所遇到的问题,望各位大侠能帮忙翻译一下,多谢!!!

发表于 2004-6-15 06:36:00 | 显示全部楼层

回复:(aigzh)Feedthrough

Feedthrough在此可译为连接器件
发表于 2004-6-16 17:05:00 | 显示全部楼层

是不是可以翻译成,膜厚自动控制过程中,操作者设定膜厚要求,晶控测量厚度并反馈到电子枪系统中

发表于 2007-10-18 13:08:51 | 显示全部楼层
feedthrough 应译为穿通装置,在真空应用中指的是密封的联接器件,包括电、气、水的密封联接等,如果还有不懂的话,E-MAL:hongwei@deproducts.com。
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