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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 晶片镀金光刻后膜脱落是什么原因？

晶片镀金光刻后膜脱落是什么原因？

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发表于 2008-11-15 14:12:37|山东 | 查看全部 阅读模式
晶片镀金光刻后膜脱落是什么原因？希望大家指教，谢谢
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回复|共 3 个

zzzz Lv.10 发表于 2008-11-17 10:11:46|福建 | 查看全部
要么是你金的牢固度不好,要么就是你的光刻技术不好了
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HZI84 Lv.7 发表于 2008-11-17 12:05:53|江苏 | 查看全部

金属膜

你们是几英寸的片子，是蒸发台还是磁控溅射？
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HZI84 Lv.7 发表于 2008-11-17 12:06:28|江苏 | 查看全部
zhaoguanghua3425@163.com
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